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Autor: Hendrik Gellert
Datum: 23.08.2010
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Halbleitertechnik, eine Wissenschaft für sich

Wenn Sie sich schon immer gefragt haben was eigentlich Halbleiterverfahren bzw. Fotolithographie ist, könnte Ihnen dieser Artikel möglicherweise bei der Beantwortung dieser Frage helfen.

Die Halbleitertechnik, auch Fotolithographie gennant, ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren bei dem verschiedene Muster auf Materialien aufgebracht werden. Diese Technik wird auch zur Strukturierung von Maskierungen genutzt.

Die Elektronenstrahllithografie ist ein Teilverfahren der Halbleitertechnik. Hier werden Fotomasken für die optische Lithografie im Direktschreibverfahren mittels Elektronenstrahllithografie hergestellt. Dieses ist eine sehr effiziente Methode um technische Schwierigkeiten bei der hochauflösenden Lithografie besser beherrschen zu können.

Da diese Technik sehr aufwendig und kostspielig ist, wird sie oft mit einem kritischen Blick in vielen Unternehmen gewürdigt und wird deshalb eher in kleineren Massstäben durchgeführt.

Ich hoffe sehr, dass ich durch diesen Artikel einige Wissenslücken schließen, und den Lesern durch hilfreiche Informationen dieses extrem interessante und aufwendige Verfahren näher erläutern konnte. Desweiteren würde ich mich sehr freuen, wenn ich zudem noch bei Manchen ein Interesse bezüglich der Nanolithographie geweckt habe.

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